退火温度对Ｃｕ膜微结构与应力的影响

雒向东，罗崇泰

桂林理工大学学报 ›› 2009, Vol. 29 ›› Issue (3) : 327-330.

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桂林理工大学学报
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材料科学与应用化学

退火温度对Ｃｕ膜微结构与应力的影响

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